기기명	박막측정기
영문명	AS IQ Surface Profiler
분류	OLED 측정분석장비
장비상태	정상 ○
기기모델	Alpha-Step IQ
설치장소	OLED조명연구동 OLED공정실
제조회사	Kla-tencor
구입일자	2008-04-21
장비담당	전화 : 033-452-9882
장비상세정보
장비사양	-stylus, 5um-60Degree Radius -Zoom optics (88-247x) -Maximum Scan Length : 10 mm -Manual precision X-Y stage, 6.2" diameter theta table -Acoustic Isolation hood and vibration isolation supports
장비활용	-박막의 표면을 scanning하여 박막의 두께를 0.1 Angstrom의 분해능으로 측정하고, 표면의 거칠기 및 상태를 확인한다. -silicon wafer 나 glass 등 시료 위에 Design상 요구된 pattern 박막의 두께가 정확히 형성되었는지 또는 박막의 식각 공정 후 정확한 깊이 또는 높이의 공정이 이루어 졌는지를 확인할 수 있는 장비이다.

박막측정기
영문명: AS IQ Surface Profiler
기기분류: OLED 측정분석장비
장비상태: 정상 ○
기기모델: Alpha-Step IQ
설치장소: OLED조명연구동 OLED공정실
제조회사: Kla-tencor
구입일자: 2008-04-21
장비담당: , 033-452-9882
장비상세정보
장비사양: -stylus, 5um-60Degree Radius -Zoom optics (88-247x) -Maximum Scan Length : 10 mm -Manual precision X-Y stage, 6.2" diameter theta table -Acoustic Isolation hood and vibration isolation supports
장비활용: -박막의 표면을 scanning하여 박막의 두께를 0.1 Angstrom의 분해능으로 측정하고, 표면의 거칠기 및 상태를 확인한다. -silicon wafer 나 glass 등 시료 위에 Design상 요구된 pattern 박막의 두께가 정확히 형성되었는지 또는 박막의 식각 공정 후 정확한 깊이 또는 높이의 공정이 이루어 졌는지를 확인할 수 있는 장비이다.