기기명 | OLED 조명소자 패키징장비 | |
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영문명 | OLED TFE (Thin Film Encapsulation) System | |
분류 | OLED 공정장비 | |
장비상태 | 정상 ○ | |
기기모델 | SUNICEL Plus200L | |
설치장소 | OLED조명연구동 OLED공정실 | |
제조회사 | 선익시스템 | |
구입일자 | 2011-12-31 | |
장비담당 | 전화 : 033-452-9881 |
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장비상세정보 | ||
장비사양 | 1 기판 규격 : 200mm±0.2mmX200mm±0.2mm (T: 0.55~1.1 mm±0.02mm) 2 증착 균일도 : ≤±7%, 스퍼터 공정 3 TFE스퍼터 챔버 최고 도달 진공: 2.0 X 10-7 torr 일반 진공 측정: ≤ 5.0 X 10-6 torr, 30분 이내 |
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장비활용 | 본 장비는 유기 조명용 소자를 제작하기 위한 소자 패키지 PVD 장비로써 OLED소자를 보호하기 위한 봉지박막을 증착 할 수 있는 장비이다. - 장비는 진공 중에서 박막 봉지 공정을 할 수 있도록 모듈로 구성 되어 있으며, 각 구성은 진공 중에서 쉐도우 마스크 와 기판이 정밀 정렬 되어 수평 이송을 할 수 있도록 설계 되어있다. |
OLED 조명소자 패키징장비 |
영문명: OLED TFE (Thin Film Encapsulation) System |
기기분류: OLED 공정장비 |
장비상태: 정상 ○ |
기기모델: SUNICEL Plus200L |
설치장소: OLED조명연구동 OLED공정실 |
제조회사: 선익시스템 |
구입일자: 2011-12-31 |
장비담당: , 033-452-9881 |
장비상세정보 |
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장비사양: 1 기판 규격 : 200mm±0.2mmX200mm±0.2mm (T: 0.55~1.1 mm±0.02mm) 2 증착 균일도 : ≤±7%, 스퍼터 공정 3 TFE스퍼터 챔버 최고 도달 진공: 2.0 X 10-7 torr 일반 진공 측정: ≤ 5.0 X 10-6 torr, 30분 이내 |
장비활용: 본 장비는 유기 조명용 소자를 제작하기 위한 소자 패키지 PVD 장비로써 OLED소자를 보호하기 위한 봉지박막을 증착 할 수 있는 장비이다. - 장비는 진공 중에서 박막 봉지 공정을 할 수 있도록 모듈로 구성 되어 있으며, 각 구성은 진공 중에서 쉐도우 마스크 와 기판이 정밀 정렬 되어 수평 이송을 할 수 있도록 설계 되어있다. |