기기명 | 박막측정기 | |
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영문명 | AS IQ Surface Profiler | |
분류 | OLED 측정분석장비 | |
장비상태 | 정상 ○ | |
기기모델 | Alpha-Step IQ | |
설치장소 | OLED조명연구동 OLED공정실 | |
제조회사 | Kla-tencor | |
구입일자 | 2008-04-21 | |
장비담당 | 전화 : 033-452-9882 |
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장비상세정보 | ||
장비사양 | -stylus, 5um-60Degree Radius -Zoom optics (88-247x) -Maximum Scan Length : 10 mm -Manual precision X-Y stage, 6.2" diameter theta table -Acoustic Isolation hood and vibration isolation supports |
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장비활용 | -박막의 표면을 scanning하여 박막의 두께를 0.1 Angstrom의 분해능으로 측정하고, 표면의 거칠기 및 상태를 확인한다. -silicon wafer 나 glass 등 시료 위에 Design상 요구된 pattern 박막의 두께가 정확히 형성되었는지 또는 박막의 식각 공정 후 정확한 깊이 또는 높이의 공정이 이루어 졌는지를 확인할 수 있는 장비이다. |
박막측정기 |
영문명: AS IQ Surface Profiler |
기기분류: OLED 측정분석장비 |
장비상태: 정상 ○ |
기기모델: Alpha-Step IQ |
설치장소: OLED조명연구동 OLED공정실 |
제조회사: Kla-tencor |
구입일자: 2008-04-21 |
장비담당: , 033-452-9882 |
장비상세정보 |
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장비사양: -stylus, 5um-60Degree Radius -Zoom optics (88-247x) -Maximum Scan Length : 10 mm -Manual precision X-Y stage, 6.2" diameter theta table -Acoustic Isolation hood and vibration isolation supports |
장비활용: -박막의 표면을 scanning하여 박막의 두께를 0.1 Angstrom의 분해능으로 측정하고, 표면의 거칠기 및 상태를 확인한다. -silicon wafer 나 glass 등 시료 위에 Design상 요구된 pattern 박막의 두께가 정확히 형성되었는지 또는 박막의 식각 공정 후 정확한 깊이 또는 높이의 공정이 이루어 졌는지를 확인할 수 있는 장비이다. |