기기명 | 배치형 마그네트론 스퍼터링 시스템 | |
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영문명 | Batch type magnetron sputtering system | |
분류 | 코팅 공정장비 | |
장비상태 | 정상 ○ | |
기기모델 | ||
설치장소 | 연구원본관 인포비온공정실 | |
제조회사 | 이엔테크놀로지 | |
구입일자 | 2005-05-13 | |
장비담당 | 전화 : 033-452-9706 |
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장비상세정보 | ||
장비사양 | o Chamber - 크기 : Ø1400×H1800 (mm) - 챔버 벽면 두께 : 40mm 이상 - 마그네트론 소스 flange : 4 set, door type - Shielding plate : polished SUS, 2 set - Source shutter assy. - View ports & Accessory ports - Heater : Max 450℃, 15분이내 가열(시편위치), 인코넬 쉬스 히터 |
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장비활용 | o Primer 대체용 플라즈마 세정 공정 o UV 코팅 대체용 고강도, 내마모, 내지문용 코팅 제품 상업화 기술 개발 o 각종 기계 및 자동차 부품 고기능성 건식 코팅 o 디지털 전자기기 부품 코팅 기술 및 시제품 개발 |
배치형 마그네트론 스퍼터링 시스템 |
영문명: Batch type magnetron sputtering system |
기기분류: 코팅 공정장비 |
장비상태: 정상 ○ |
기기모델: |
설치장소: 연구원본관 인포비온공정실 |
제조회사: 이엔테크놀로지 |
구입일자: 2005-05-13 |
장비담당: , 033-452-9706 |
장비상세정보 |
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장비사양: o Chamber - 크기 : Ø1400×H1800 (mm) - 챔버 벽면 두께 : 40mm 이상 - 마그네트론 소스 flange : 4 set, door type - Shielding plate : polished SUS, 2 set - Source shutter assy. - View ports & Accessory ports - Heater : Max 450℃, 15분이내 가열(시편위치), 인코넬 쉬스 히터 |
장비활용: o Primer 대체용 플라즈마 세정 공정 o UV 코팅 대체용 고강도, 내마모, 내지문용 코팅 제품 상업화 기술 개발 o 각종 기계 및 자동차 부품 고기능성 건식 코팅 o 디지털 전자기기 부품 코팅 기술 및 시제품 개발 |